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为规范东莞市新铧机械设备有限公司硅片光氧机设备操作流程，杜绝紫外线辐射、臭氧泄漏引发的安全事故，保障操作人员人身安全、设备稳定运行及车间生产环境安全，结合设备运行特性与工业安全规范，特制定本专项安全须知，所有操作人员必须严格遵照执行。
硅片光氧机主要通过185nm、254nm短波紫外线实现硅片表面有机污染物清洗、改性处理，设备运行过程中，短波紫外线会产生强辐射危害，同时会分解空气生成臭氧，若防护不当，会对人体眼部、皮肤、呼吸道造成不可逆损伤。全员必须熟知以下核心防护要点，规范岗位操作。
一、紫外线辐射安全防护要点
硅片光氧机工作时释放的短波紫外线，穿透力强、辐射性高，直视、近距离接触会灼伤眼角膜、损伤视网膜，长期暴露会造成皮肤老化、脱皮、灼伤，属于不可逆职业伤害，全程严格落实以下防护要求：
1.严禁违规直视与近距离暴露
设备开机运行、灯管点亮状态下，严禁肉眼直视设备腔体、透光窗口及灯管区域，严禁将头部、手部及皮肤裸露部位伸入设备作业区域。设备3米范围内为紫外线辐射危险区，非操作必要禁止逗留，杜绝紫外线直射、散射伤害。设备自带安全联锁装置，严禁私自拆除、屏蔽舱门安全锁，防止开机误开舱门引发辐射事故。
2.规范穿戴专用防护用具
所有上岗操作人员，开机作业前必须全套穿戴合规防护用品：专用防紫外线护目镜、长袖工作服、丁腈防护手套，全面遮挡裸露皮肤，杜绝皮肤直接接触紫外线散射光线。严禁未佩戴防护用具上岗操作，严禁穿戴短袖、短裤等暴露衣物作业。
3.规范设备运维防护
设备紫外线灯管、石英透光镜片为核心辐射部件，运行及刚关机高温状态下，禁止徒手触摸、擦拭。日常维护、镜片清洁、灯管检查更换作业，必须待设备完全关机、灯管彻底熄灭冷却后操作，全程佩戴防护用具。同时每周使用酒精擦拭石英窗口，去除表面污染物，避免透光异常导致紫外线散射外泄。
4.杜绝设备带病运行
每日开机前检查设备舱门密封性、联锁装置、遮光防护结构是否完好，若出现舱门关闭不严、防护挡板破损、联锁失效等问题，立即停机报备，维修合格后方可使用，防止紫外线泄漏。
二、臭氧泄漏安全防护要点
硅片光氧机工作时，185nm短波紫外线会电离空气产生臭氧，臭氧具有强刺激性、氧化性，过量吸入会刺激呼吸道、损伤肺部黏膜，引发头晕、胸闷、咽痛等不适，高浓度臭氧环境会严重危害人体健康，需严格落实通风、时序操作、巡检防护规范：
1.全程保障通风排风系统正常运行
设备开机前，必须提前开启车间专用排风、换气设备，确认风道通畅、抽气功能正常，作业全程保持通风系统开启，实时置换设备运行产生的臭氧，严控车间臭氧浓度。严禁在密闭、无通风条件的环境下启动设备作业。
2.严格遵守延时开盖操作规范
设备作业程序结束、自动停机后，腔体内会残留高浓度臭氧，严禁立即开启舱门。必须静置等待5-10分钟，待腔内臭氧充分分解、排风系统完全置换残留气体后，方可开启舱门取放硅片，杜绝瞬时臭氧大量外泄吸入伤害。
3.规范工况巡检与异常处置
作业过程中实时观察设备运行状态，若察觉车间出现明显刺激性异味、操作人员出现头晕、恶心、咽喉刺痛等臭氧中毒前兆，立即停机、人员撤离现场，加大车间通风，排查设备漏气、排风故障等问题，隐患消除后方可复工。
4.严控作业环境与设备工况
设备需放置在通风良好、远离火源、干燥整洁的作业区域，禁止堵塞设备通风口、排气通道。定期检查气路系统密封性，防止臭氧从管道接口、设备缝隙泄漏，从源头规避臭氧安全风险。
三、通用安全操作准则
1.所有操作人员必须经过东莞市新铧机械设备有限公司专项设备安全培训，熟知设备性能、防护要点及应急处置方法，考核合格后方可独立上岗，严禁无证操作、违规操作。
2.作业期间专注岗位操作，严禁擅自更改设备运行参数、拆卸设备防护结构、屏蔽安全保护装置。
3.每日作业结束后，关闭设备电源、延时关闭排风系统，做好设备清洁与工况记录，排查安全隐患，做到文明、安全收尾。
4.若发生紫外线灼伤、臭氧吸入不适等安全情况，立即停止作业，及时就医并上报部门负责人。
四、附则
本安全须知适用于东莞市新铧机械设备有限公司全系硅片光氧机设备的日常操作、运维、巡检全流程，全体岗位人员必须严格遵守，车间及安全部门负责日常监督落实。
东莞市新铧机械设备有限公司
