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半导体洁净隧道炉
产品编号:
半导体洁净隧道炉
适用范围:
半导体洁净隧道炉适用于:金属、主固化、OC预烘、玻璃盖板、Film、薄膜开关、导光板等丝印预烘.

【产品核心定位】

东莞市新铧机械设备有限公司匠心呈现——XHSOL-10-09-6R 半导体洁净隧道炉
专为半导体封装、精密光学、高端薄膜材料PET/PC)制程打造。集千级洁净环境、六区精准温控、垂直层流运风于一体,彻底解决传统烘干设备中的粉尘污染、温差过大及固化不均痛点,是提升良品率与产能的旗舰级选择。




【六大核心亮点】

1.真·千级洁净环境 (Class 1000)

· 二级过滤系统:进风口配置初效过滤器 + 炉内内置耐高温高效过滤器(HEPA)**,双重拦截微尘。

· 无尘化设计:全内胆采用T1.2mm SUS304镜面不锈钢满焊制作,无死角、不积尘;加热元件选用304#无尘化电热管,杜绝加热过程产生的微粒脱落。

· 适用场景:完美适配对洁净度要求极高的半导体晶圆、光学膜片PET/PC)烘干工艺。

2.六区独立精准温控

· 分区控制升温区1区),共6个独立温区,支持差异化温度曲线设定。

· 超高精度:采用进口温控器+固态继电器+精密K型热电偶,具备PID自动整定功能。

· 均匀度指标:恒温150℃空炉状态下,横向温差控制在**±2~4℃**,纵向温差**±5~8℃**(进出料段除外)。

· 快速响应:空炉30分钟内即可从常温升至150℃,大幅缩短待机时间。

3.顶部垂直层流运风

· 风道设计:采用顶部垂直向下运风方式,配合多组长轴型高温马达与多翼式不锈钢风轮,形成均匀层流,避免横向吹拂导致的產品移位或二次污染。

· 热风回收:特设500mm热风回收罩,节能降耗,提升热效率。

4.智能输送与稳定运行

· 宽幅网带900mm宽黑色铁氟龙网格网带(内径2*2mm),耐温耐腐蚀,适用于各类薄片状产品。

· 自动纠偏:标配特氟龙导条自动纠偏装置,防止网带跑偏卡顿,确保持续稳定生产。

· 无级调速:变频器控制,速度范围0.5-5m/min任意调节(常用2m/min),灵活匹配不同工艺节拍。

5.人性化结构与安全防护

· 便捷检修:炉盖采用气弹簧推杆掀开 + 手动撑杆保护设计,单人即可轻松开启,方便内部清洁与维护。

· 高效保温150mm厚高密度白色硅酸铝棉保温层,外配整体隔热封板,表面温度低,节能且安全。

· 多重保护:具备超温报警、过载保护、漏电断路、电源逆相保护等功能;电柜防护等级达IP54,三色信号灯实时状态监控。

6.详尽规格参数 (型号:XHSOL-10-09-6R)

项目

参数详情

电源规格

AC380V 3φ 50Hz / 总容量 53KVA

加热功率

46KW (恒温状态约28KW,节能显著)

温控范围

室温 ~ 220℃

内空尺寸

6000 × 宽960 × 高100 mm

外形尺寸

10000 × 宽1360 × 高1650 mm (以实物为准)

结构分段

进料(750)+回收(500)+升温(1000)+恒温(5000)+冷却(2000)+出料(750) mm

冷却系统

多排轴流风扇强制风冷 + 尾端热风收集排出

机身材质

内胆:SUS304镜面不锈钢;外壳:冷轧钢板静电粉体涂装(邹纹灰白)

操作界面

触摸屏 + PLC可编程控制器




【典型应用场景】

半导体行业:芯片封装固化、引线框架烘干、晶圆清洗后干燥。
光电显示PET/PC薄膜光学膜烘干、触摸屏油墨固化、偏光片热处理。
新能源材料:锂电池极片涂布后烘干、隔膜热处理。
精密电子FPC软板补强、电子元器件去湿固化。




【为什么选择新铧机械?】

源头厂家:东莞本土制造,拒绝中间商差价,提供最具竞争力的性价比。
定制专家:支持尺寸、温度、洁净度等级(百级/千级/万级)的深度非标定制。
品质承诺:核心部件选用知名品牌,整机质保,终身技术支持。
交付保障:标准化生产流程,按期交付,提供上门安装调试及操作培训。




【立即咨询,获取专属方案】

升级您的生产线,从一台高洁净隧道炉开始

咨询热线[13925579290]
官方网站www.dgxhua.com (示例)
公司地址:广东省东莞市万江街道滘联路701号楼102

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东莞市新铧机械设备有限公司 —— 专注热工设备研发,为精密制造保驾护航!


标准规格型号选配项目产品视频根据客户要求设计,非标定制不同规格

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产品介绍
独特性能客户可选配置

内胆全不锈钢氩弧焊满焊,防止机台自身产生灰尘;内部洁净无尘;

双重超温保护,安全更可靠;

内部热风循环,烘烤物件受热均匀;

升温时间快,温度稳定精准;

国内一流的隔热、断热、保温技术,密封效果优;

机体外壳温度低,对室内环境温度影响较小;

多种加热及运风方根据产品设定;节能省电、安全环保。

可充氮气气氛保护,达成无氧化烘烤环境。

控制系统、料盘、推车可依客户需要选择配备。

颜色选择图例

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客户可以依照色卡指定色彩制作。

※根据烘烤产品搭配不同料盘/台车,材质有烤漆、电镀彩锌、不锈钢等,尺寸、规格可非标订制,欢迎来电咨询。

温控选购配备

温控器(单段/8段-256段可编程式)
台湾宇电温控表日本欧姆龙智能型温控表
日本进口256段可编程式欧姆龙温控仪日本OMRON温控器
温度记录仪
进口多通道彩屏无纸记录仪进口多通道有纸记录仪
进口PARTLOW圆图温度记录仪进口YOKOGAWA 48通道温度记录仪
记录组
手提式温度记录器组 6点IR 电脑温度记录器组6点~12点
计时器 30分,999分(标准配备),24H,99H,年月日可程式计时器。
电力输出,可按照SSR、SCR、SSPR等电力自动调整器。

触摸屏+PLC
威伦7寸Proface
三菱西门子
工控机以太网远程监控
计时器 30分,999分(标准配备),24H,99H,年月日可程式计时器。
电力输出 可安装SSR、SCR、SSPR等电力自动调整器。

风路循环图例

单面送风型双面送风型双面送风防爆热辐射上升型
四面辐射型热辐射照射型热风辐射型热风辐射型

料盘、推车选配项目

料盘形式

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冲孔盘筛网盘栅格盘
活动推车

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烤架烤箱推车+托盘子母推车


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